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            四氟化硅廠家:特種氣體輸送系統的一些知識點

            • 分類:新聞資訊
            • 作者:
            • 來源:
            • 發布時間:2022-04-12
            • 訪問量:0

            【概要描述】四氟化硅廠家認為特種氣體輸送系統是指根據工藝設備的工藝要求,通過控制流量、壓力等參數,將特種氣體從氣源通過管道穩定輸送到工藝設備的用氣點,不產生二次污染。特種氣體根據氣體性質不同,一般分為惰性氣體、易燃易爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體;根據供應包裝的不同,分為特種氣體和散裝特種氣體。

            四氟化硅廠家:特種氣體輸送系統的一些知識點

            【概要描述】四氟化硅廠家認為特種氣體輸送系統是指根據工藝設備的工藝要求,通過控制流量、壓力等參數,將特種氣體從氣源通過管道穩定輸送到工藝設備的用氣點,不產生二次污染。特種氣體根據氣體性質不同,一般分為惰性氣體、易燃易爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體;根據供應包裝的不同,分為特種氣體和散裝特種氣體。

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              四氟化硅廠家認為特種氣體輸送系統是指根據工藝設備的工藝要求,通過控制流量、壓力等參數,將特種氣體從氣源通過管道穩定輸送到工藝設備的用氣點,不產生二次污染。特種氣體根據氣體性質不同,一般分為惰性氣體、易燃易爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體;根據供應包裝的不同,分為特種氣體和散裝特種氣體。


            四氟化硅


              四氟化硅廠家認為簡易供氣系統主要針對4英寸及以下的半導體芯片廠、半導體材料的科研機構和一些單一工藝設備。它們的工藝簡單,通常不需要連續供氣,供氣系統投資預算低。由于氣體流量小,使用不頻繁,所以常用普通鋼瓶作為特殊氣源。輸送系統多采用半自動氣瓶柜或氣瓶架,控制面板簡單;繼電器控制,自動切換,手動吹掃,手動放空,有害氣體配有緊急切斷閥。

              四氟化硅廠家認為惰性氣體瓶架采用全手動系統,有的甚至采用單瓶系統。所有氣體共用一個氣體室,甚至沒有氣體室,特殊的氣瓶和輸送系統有時被放置在回風管道中或直接放置在工藝制造設備旁邊或旁邊。如果沒有特別危險的氣體,一般共用一個排氣系統。簡單的供氣系統通常存在安全隱患。

              四氟化硅廠家認為常規供氣系統主要用于4-6寸大規模集成電路工廠、50MW以下太陽能電池生產線、LED芯片工藝線等用氣量中等的電子行業。對氣體純度控制要求不嚴格,在滿足安全要求的前提下,系統配置盡量簡單,節省投資。特殊氣體由普通鋼瓶供給。氣瓶柜用于特殊的輸氣系統。配有全自動PLC控制器和彩色觸摸屏;氣體面板采用氣動閥和壓力傳感器,可實現自動切換、自動氮氣吹掃和自動真空輔助放空。

              四氟化硅廠家認為多重安全保護措施、泄漏檢測、遠程緊急切斷;專用氮氣吹掃的來源等。VMB采用旁路氣動閥,氮氣吹掃,真空輔助抽真空。半自動氣瓶架、繼電器控制、自動切換、手動吹掃和手動排氣大多用于惰性氣體。VMB主氣動閥,氮氣吹掃;旁路氣動閥、氮氣吹掃、真空輔助排空。房間和排氣系統根據氣體性質分類。

              四氟化硅廠家認為大型供氣系統主要針對8-12英寸(1英寸=25.4毫米)超大規模集成電路工廠具備大規模量產,以及100MW以上的太陽能電池生產線(氣體種類包括NH3)。發光二極管的外延工藝線(氣體種類包括NH3)、5代以上的LCD工廠(氣體種類包括SIH4、CL2、NH3、NF3)、光纖(氣體種類包括SiCl4)、硅材料外延生產線(氣體種類包括HCL)等行業。它們投資規模巨大,采用先進的工藝設備,用氣量大,對穩定不間斷供應、純度控制、安全生產提出了嚴格的要求。


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