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            四氟化硅廠家:特種氣體管道系統的設計要點

            • 分類:新聞資訊
            • 作者:
            • 來源:
            • 發布時間:2022-04-27
            • 訪問量:0

            【概要描述】四氟化硅廠家認為316L不銹鋼電拋光(EP)管常用于特種氣體管道系統,高純調壓閥、隔膜閥、高精度過濾器、VCR連接器等常用作閥門。與氣體接觸的管道部件表面粗糙度可控制在5uin。對于一些強腐蝕性氣體,如CL2,使用具有強耐腐蝕性的特殊處理EP管。

            四氟化硅廠家:特種氣體管道系統的設計要點

            【概要描述】四氟化硅廠家認為316L不銹鋼電拋光(EP)管常用于特種氣體管道系統,高純調壓閥、隔膜閥、高精度過濾器、VCR連接器等常用作閥門。與氣體接觸的管道部件表面粗糙度可控制在5uin。對于一些強腐蝕性氣體,如CL2,使用具有強耐腐蝕性的特殊處理EP管。

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            • 發布時間:2022-04-27
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              四氟化硅廠家認為316L不銹鋼電拋光(EP)管常用于特種氣體管道系統,高純調壓閥、隔膜閥、高精度過濾器、VCR連接器等常用作閥門。與氣體接觸的管道部件表面粗糙度可控制在5uin。對于一些強腐蝕性氣體,如CL2.使用具有強耐腐蝕性的特殊處理EP管。

            四氟化硅

              四氟化硅廠家認為在確定用氣房間和用氣點后,主管道系統一般遵循管路路線較短、轉彎較少、布局緊湊合理的原則,給人以簡潔美觀的感覺。輸送系統的數量和管徑一般根據用氣點的數量和機器的流量來確定。基本采用小管徑輸送(1/4-3/4),設計了很多備用系統。因為氣體本身的危險性,很多地方的管道都是敷設在電纜橋架里。對于穿墻或穿巷的場所,周圍有危險源和經常有危險作業的場所,空曠場所的管道一般布置在全封閉的托盤內。

              四氟化硅廠家認為對于低蒸汽壓氣體(WF6、DCS、BCl3、C5F8、ClF3等。)、鋼瓶供熱、燃氣面板供熱、管道伴熱等。應該考慮。為了精確控制流量,高精度壓力變送器、電子秤、溫度控制器等。通常在空氣源處考慮。質量流量計和壓力調節閥也安裝在機器的氣體點上。對于劇毒、高活性和自燃氣體,應使用雙層套管運輸。同時,管道的設計應采用零死區設計,即整個管道系統從氣柜到VMB、從VMB到用氣點應是點對點的,氣體置換時中間不應有殘留空氣的死角。所以VMB在整個管道系統中完成配氣,中間沒有三通,管道要做好接地。

              四氟化硅廠家認為在氣柜或控制面板的安裝和運輸過程中,由于搬運和振動,更換閥門、連接器、過濾器等。或其他原因,需要再次進行高壓氣密性試驗和氦氣檢查,氣體的置換也需要高壓氮氣或氦氣,所以需要設計專用氣柜連接高壓惰性氣體氦氣或氮氣。一般情況下,在專用氣體室中布置一個或多個惰性氣體柜。

              四氟化硅廠家認為專用氣柜配有各種氣動閥。輸氣前必須對主管道進行吹掃和空氣置換,因此需要高純氮氣和潔凈的壓縮空氣系統輔助。氮氣系統采用SUS316L-EP管,CDA可采用SUS316L-BA管,其管徑根據氣柜數量確定。煤氣室、煤氣柜也要有自動噴水滅火系統,但有些氣體如三氟化氯、硅烷等會與水發生反應,所以要考慮采用二氧化碳滅火系統。


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