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    三氟化氮

    化學式:NF3
    純度規格:4N6
    包裝:47L/470L/Bundle/ISO
    重量:20kg/200kg/320kg/4t/6t/8t
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    參數
    三氟化氮(NF3)的主要應用
    IC方面:由于作為半導體工業中氣體清洗劑的全氟烴(PFC)對環境有害,近年來有逐漸被三氟化氮(NF3)取代之勢。使用NF3作為化學蒸氣沉積(CVD)箱清洗劑,與全氟烴相比,可減少污染物排放量約90%,且可顯著提高清洗速度,從而可提高清洗設備能力約30%。
    LCD方面:NF3還可用作蝕刻劑,也用于液晶顯示器(LCD)的加工。為此,近年來NF3需求量急劇增長。 
    太陽能電池:NF3作為蝕刻和清洗氣體也在太陽能電池制造行業廣泛應用。
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